热处理设备
热板、加热器、精密烘箱、磷化铟长晶炉及退火设备
键合力
提升
温度均匀性
±0.5℃
精准控温，定义半导体热处理工艺边界
聚焦高端热处理
依托高精度温控与均匀温场技术，以稳定热环境保障工艺一致性，将温度偏差控制在行业顶端水平。
- 高均匀性温场设计，适配多类型晶圆退火、薄膜热处理
- 快速升温 / 降温曲线可控，支持多段式热工艺配方编辑
- 全流程温度数据采集，工艺批次可追溯，对接产线 MES 系统
产品资讯
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磷化铟（InP）长晶炉
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