3-8寸wafer批量自动传输器
2026-06-06 14:04 · admin
83
AHWT自动-批量
（76-200）mm
桌上型自动批量晶圆转移工具。晶圆在两个料 盒之间水平“滑动转移”。
AWT兼容高和低外形的SEMI工艺和运输料盒。CIP开关、一致的速
度控制和传输臂监控使得AWT可靠，并且比 WT系列更新。
