3-8寸wafer低接触自动传输器
2026-06-06 14:04 · admin
35
LCT2自动-低接触-(76-200)mm
适合薄片晶圆和化合物晶圆传输
通过将晶圆提升至Slot中心位置完
成取出或装载体积小，节省洁净室空间
LCT2自动-低接触-(76-200)mm
适合薄片晶圆和化合物晶圆传输
通过将晶圆提升至Slot中心位置完
成取出或装载体积小，节省洁净室空间