灼晶科技(上海)有限公司
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ODP3
2026-06-06 14:05 · admin
42
ODP3
外沿
-
三方位夹取
-50-200mm
从切线边缘搬运晶圆的
3
点机械抓取器,用于单晶圆化学工艺或晶圆安全应用。夹具采用
Teflon®PTFE
。具有可调节的张紧螺钉,可调节施加在晶圆上的力量。