超薄晶圆吸笔-光掩膜开启-真空吸笔组合-晶圆倒片器-上海灼晶科技有限公司

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Cathode Liner

精密结构件（含表面处理）

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Slit Liner Door

精密结构件（含表面处理）

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Wall Liner

精密结构件（含表面处理）

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底部保护套筒

精密结构件（含表面处理）

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<p><br/><br/><br/></p><p style="text-align:center"><span style="font-family:宋体;color:black">底部保护套筒</span></p><p style="text-align:center"><span style="font-family:宋体;color:black">（Bellow Cover）</span></p>
等离子束保护装置

精密结构件（含表面处理）

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挡板片

精密结构件（含表面处理）

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<p><br/><br/></p><p style="text-align:center"><span style="font-family:宋体;color:black">挡板片</span></p><p style="text-align:center"><span style="font-family:宋体;color:black">（Liner gate）</span></p><p><br/></p>
底部传送保护装置

精密结构件（含表面处理）

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<p><br/><br/><br/></p><p style="text-align:center"><span style="font-family:宋体;color:black">底部传送保护装置</span></p><p style="text-align:center"><span style="font-family:宋体;color:black">（SHUTTER,BTM</span></p>
腔体底部保护环

精密结构件（含表面处理）

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<p><br/><br/><br/></p><p style="text-align:center"><span style="font-family:宋体;color:black">腔体底部保护环</span></p><p style="text-align:center"><span style="font-family: 宋体;color:black">(RING, BTMSHI</span></p>
刻蚀机用排气挡板

精密结构件（含表面处理）

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<p><br/><br/><br/></p><p style="text-align:center"><span style="font-family:宋体;color:black">刻蚀机用排气挡板</span></p><p style="text-align:center"><span style="font-family: 宋体;color:black">(PLATE, EXHA</span></p>

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