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  • TTS 覆膜机及干膜解决方案

    TTS 覆膜机及干膜解决方案

    TTS覆膜设备及干膜解决方案

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  • 晶圆转运H-Square

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  • 碳化硅、砷化镓、二氧化硅片、测试片

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    晶圆片-Wafer

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  • 一体化高柔无尘拖链

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    12寸wafer传输器

    晶圆传输工具

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灼晶科技(上海)有限公司,致力服务于半导体前道及后道的晶圆工厂和设备供应商。供应产品涵盖了几个方面:

-晶圆转送整体解决方案,:晶圆自动及手动传输工具、晶圆展示器、宏观检测台、真空吸笔晶圆机械夹、光罩夹、自动及手动开盒器,也提供晶圆盒等

-为前道晶圆设备腔体部件提供国产替代方案,同时提供工艺部件的清洗及镀层服务,大多为ETCHPVDCVD工艺

-TC晶圆、LVS晶圆、清洁晶圆、压力膜

-DUMMY Wafer:8"/12",单抛/双抛,超平

-覆膜撕膜设备及配套方案

-定制化无尘运动拖链

-静电消除系统,高端无尘清洁工具及容器;

-国产电源管理芯片整体方案,可平替国际大厂产品。立足于国内半导体市场,努力提供优质的产品及服务。

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