晶圆转运H-Square
发布时间: 2021-10-21 10:45
H-Square Automation采用自主开发的高度可配置组件,为晶圆分拣、装载、跟踪、包装和检测应用提供先进的解决搬运方案。这些机器人晶圆搬运系统可处理各种晶圆尺寸(76-300mm),厚度(50-1600μm),材料(硅,玻璃,复合或其他易碎晶圆),以及料盒和工具配置。产品支持批次跟踪(条形码,OCR,2DMatrix)和fab级协议通信(SECS/GEM)。 配有先进的组件,如软接触边缘夹持末端执行器,涡流/伯努利软接触末端执行器,高级标准和薄晶圆预对器,SCARA机器人,宏观旋转检测台,EFEM加载端口和SMIF加载端口。
H-Square Automation为最复杂的自动化要求提供具有成本效益的一站式解决方案。产品丰富多样分别为:晶圆分拣机、 晶圆包装机、 显微装载机、晶圆搬运机、晶圆传输机、真空吸笔、伯努利搬运、机械抓取、晶圆展示机、晶圆滚梯、晶圆对准器、强光检查、FOUP开启器、铝盒、不锈钢盒、富士胶盒、光掩膜开启器、SMIF Pod开启器、PTFE料盒 、膜片晶圆。
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