热板
发布时间: 2024-12-30 09:14
本款热板是专为微电子制造领域关键工艺打造的精密温控设备，核心适配两大核心场景：一是涂胶显影设备配套，可在光刻胶涂覆后提供预热、显影后实现烘干，通过稳定温控保障胶膜厚度均匀性与图形转移精度，避免因温度波动导致的工艺缺陷；二是精密退火工艺，能满足半导体材料、新型薄膜等对温度曲线要求严苛的退火需求，助力优化材料晶体结构、释放内部应力，适配研发与量产阶段的多样化工艺诉求。
在服务支持层面，设备可提供多套定制化热板整机集成方案，既能满足小批量研发场景的单工位独立热板系统需求，也可适配中大规模量产的多工位联动热板模组，且所有集成方案均支持与客户现有产线控制系统无缝对接。
产品参数
MODULE | ITEM | UNM | REMARKS |
PLATE MODULE | HEAT PLATE | 1 | 温度范围：35~300℃(高温款可定制) |
2 | 最小调整量：0.1℃； |
3 | 常规为量取值的1% |
4 | 使用RTD WAFER 测量 |
5 | 具有超温报警功能 |
6 | 软件配有温度偏离预警功能 |
7 | 热盘表面材料：铝制硬质阳极化+涂层 |
8 | 三点PIN针支撑，气缸驱动或电机驱动） |
9 | SHUTTER门标配气缸驱动 |
10 | 额定功率：700W，根据要求配置，300-700W之间 |
11 | 额定电压：单相AC220V |
12 | 支持真空工艺 |
PLATE BASE | 1 | 配有热板气缸电磁阀 |
2 | 电磁阀品牌：SMC |
3 | 气缸所有气路标配调压阀 |
4 | 调压阀品牌：SMC |
5 | 每一路热板配置固态继电器 |
6 | 真空式热板标配真空发生器 |
7 | 配有开关电源 |
