静电控制与洁净室系统
静电消除系统
面向半导体无尘室环境建立完整的静电控制体系, 与洁净室系统协同工作,提升整体生产环境稳定性。
系统应用
整体无尘室管控
Roomsystem 天花板系统
半导体热处理方案服务商
从晶圆搬送、非接触操作到静电控制与无尘室系统, 持续为半导体制造提供高精度、高可靠性的产品与应用支持。