ODP3 

外沿-三方位夹取-50-200mm

从切线边缘搬运晶圆的3点机械抓取器，用于单晶圆化学工艺或晶圆安全应用。夹具采用Teflon®PTFE。具有可调节的张紧螺钉，可调节施加在晶圆上的力量。