MC12 铝质-真空-300mm
用于300mm晶圆
兼容SEMI MAC FOUPS/FOSBs
自动化设备
全焊接结构减少热膨胀/收缩
晶圆防滑锁定杆
轻量化结构,配有侧边把手
阳极氧化硬质(HC)表面处理。