应用于半导体、LCD、LED、TFT、精密陶瓷、石英振荡器等行业，多用于无尘环境中的高低温工艺，包括涂覆光刻胶前的预处理烘烤。

主要烘箱类别:

氮气无尘烘箱、真空无尘烘箱、百级无尘烘箱、HMDS基片预处理.