MCP2
边缘夹取-(50-200)mm
常闭边缘机械(恒定力)抓取器用于处理搬运圆形基板晶圆。基础材料是ESD安全的聚丙烯,具有延长寿命、抗静电性能和一般耐化学性。晶圆接触垫是带孔的氟化O形环带,用于夹持/固定在晶圆上,不会刮擦或留下放气痕迹。