MCP2-S 

边缘夹取-铲式(50-200)mm

常闭边缘机械（恒定力）抓取器用于处理搬运圆形基板晶圆。具有刀口刮刀尖端，用于从表面或单晶圆载具上提升晶圆。晶圆接触垫是带孔的氟化O形环带，用于夹持/固定在晶圆上，不会刮擦或留下放气痕迹。刀口夹具可更换。