AWM2 自动-单-(76-200)mm

成本低，效率高

UPH: 400 片/小时

触屏控制,重力末端执行器

（配置Kalrez 8575®垫）

晶圆位置、交叉、双叠检查

晶圆突出传感器

支持多种Pitch尺寸

多种菜单模式,支持薄晶圆

双Cassette配置