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3-8寸wafer低接触自动传输器
    发布时间: 2022-04-28 16:40    

LCT2自动-低接触-(76-200)mm



适合薄片晶圆和化合物晶圆传输

通过将晶圆提升至Slot中心位置完

成取出或装载体积小，节省洁净室空间


3-8寸wafer低接触自动传输器
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