AHWT自动-批量

（76-200）mm

桌上型自动批量晶圆转移工具。晶圆在两个料 盒之间水平“滑动转移”。

AWT兼容高和低外形的SEMI工艺和运输料盒。CIP开关、一致的速

度控制和传输臂监控使得AWT可靠，并且比 WT系列更新。